Trong nhiều cuộc họp gần đây với các lãnh đạo cấp cao của ASML, Bộ trưởng Thương mại Mỹ Howard Lutnick đã bày tỏ lo ngại rằng các máy quang khắc siêu cực tím EUV của ASML có thể đã được đưa vào Trung Quốc.
Trên toàn thế giới, ASML là nhà cung cấp duy nhất các thiết bị cần thiết để sản xuất hàng loạt những con chip tiên tiến nhất hiện nay. Điều này khiến công ty trở thành một mắt xích trung tâm trong cuộc chạy đua toàn cầu về trí tuệ nhân tạo.
Hệ thống EUV của ASML hiện đang được cung cấp cho các đồng minh của Mỹ, bao gồm Đài Loan, Hàn Quốc và Nhật Bản, là chiếc máy không thể thiếu trong quá trình sản xuất những con chip tiên tiến nhất thế giới của Taiwan Semiconductor Manufacturing Company (TSMC), Intel hay Samsung Electronics. Do các biện pháp hạn chế được áp đặt từ nhiệm kỳ đầu tiên của tổng thống Donald Trump, công ty này chưa bao giờ được phép xuất khẩu các máy EUV sang Trung Quốc.
Đường đi của ánh sáng cực tím từ nguồn phát (góc dưới bên phải) đến wafer silicon để. Nguồn: ASML.
Theo tờ Bloomberg, các quan chức cấp cao của chính quyền Mỹ cho biết họ có bằng chứng cho thấy ASML đã xuất khẩu sang Trung Quốc một số thiết bị chuyên dụng dùng để vận chuyển máy EUV, cùng với các linh kiện khác có thể được sử dụng trong các hệ thống máy quang khắc siêu cực tím. Tuy nhiên, sau nhiều lần được yêu cầu cung cấp thông tin, các quan chức Mỹ phản hồi rằng bằng chứng về các lô hàng này quá nhạy cảm để có thể công khai chi tiết.
ASML cho biết họ đã bác bỏ các cáo buộc liên quan đến việc không tuân thủ quy định kiểm soát xuất khẩu đối với Trung Quốc, đồng thời nhấn mạnh rằng công ty luôn điều chỉnh hoạt động kinh doanh để bảo đảm tuân thủ mọi thay đổi của quy định hạn chế xuất khẩu.
Hiện vẫn chưa rõ chính quyền của tổng thống Trump đang yêu cầu điều gì cụ thể từ ASML, khi công ty này đang ở trong tình thế phải "chứng minh điều không tồn tại", cũng như không rõ loại thông tin nào từ nhà sản xuất thiết bị có thể khép lại nghi vấn về EUV ở Trung Quốc. Bộ Thương mại Mỹ không phản hồi các câu hỏi liên quan, bao gồm việc liệu cơ quan này có bằng chứng nào cho thấy có máy EUV tại Trung Quốc hay không.
Không dễ vận chuyển
Trong tuyên bố gửi hãng tin Reuters, Bộ Ngoại giao Hà Lan cho biết: "Đối với việc xuất khẩu thiết bị sản xuất chất bán dẫn, Hà Lan áp dụng các quy định và danh mục kiểm soát rõ ràng, dựa trên Quy định Hàng hóa lưỡng dụng của Liên minh châu Âu (EU) cũng như các biện pháp bổ sung ở cấp quốc gia".
Mọi thiết bị, linh kiện và công nghệ thuộc phạm vi các quy định trên đều yêu cầu phải có giấy phép xuất khẩu, đồng thời việc thực thi chính sách này rất nghiêm ngặt và Bộ Ngoại giao Hà Lan "sẽ can thiệp khi cần thiết".
Theo tài liệu của ASML mà Bloomberg đã xem xét, hiện trên toàn thế giới có 314 máy EUV đang hoạt động, 26 máy ngừng vận hành, và không có máy nào ở Trung Quốc.
Các máy quang khắc của ASML, có giá khoảng 250 triệu USD mỗi chiếc, có kích thước tương đương một chiếc xe buýt trường học và nặng khoảng 180 tấn. Thiết bị này sử dụng một hệ thống laser công suất cao phóng ra các tia sáng để làm phẳng và bốc hơi các giọt thiếc nóng chảy siêu nhỏ để tạo ra tia siêu cực tím. Thứ ánh sáng này chính là "mũi dao" dùng để in các mạch điện siêu vi mô lên tấm đĩa silicon nhằm tạo ra chip.
Theo ASML, thiết bị này được kiểm soát rất chặt chẽ và đòi hỏi sự giám sát sát sao từ các kỹ sư của công ty. ASML có thể tự động phát hiện "mọi sự gián đoạn, hành vi bất thường hoặc mất kết nối" trong toàn bộ danh mục hệ thống EUV của mình. Đồng thời, khách hàng "không thể tháo dỡ, vận chuyển hay di dời các hệ thống EUV mà không có sự tham gia của ASML do hệ thống có các quy trình xử lý chuyên biệt".
Việc sử dụng máy móc của ASML để sản xuất các loại chip tiên tiến nhiều khả năng còn đòi hỏi các thiết bị chuyên dụng từ những công ty nước ngoài khác, mà bản thân các thiết bị này cũng đang chịu các hạn chế xuất khẩu tương tự.
Một cỗ máy quang khắc của ASML. Ảnh: ASML
"Những thứ như thiết bị này cực kỳ khó để buôn lậu", ông Ben Barringer - Trưởng bộ phận nghiên cứu công nghệ tại công ty quản lý đầu tư Quilter Cheviot - nhận định với tờ Wall Street Journal.
Lo ngại của Mỹ về năng lực kỹ thuật của Trung Quốc
Nếu thực sự có một hệ thống EUV được đưa tới Trung Quốc, đây sẽ là một trong những vụ vi phạm nghiêm trọng nhất từng được biết đến đối với các biện pháp kiểm soát xuất khẩu do Mỹ áp đặt, vốn nhằm hạn chế khả năng tiếp cận các công nghệ AI có thể phục vụ mục đích quân sự của Trung Quốc. Bloomberg đã hỏi các quan chức cấp cao trong chính quyền Trump rằng, nếu họ có bằng chứng cho thấy vi phạm đã xảy ra, tại sao chính phủ Mỹ chưa triển khai các biện pháp cứng rắn hơn hoặc áp dụng các hình thức trừng phạt. Các quan chức này từ chối bình luận.
Trong nhiều năm qua, ASML liên tục phải đối mặt với những kiểm soát ngày càng nghiêm ngặt trong hoạt động kinh doanh tại Trung Quốc, khi Mỹ thúc đẩy Hà Lan và Nhật Bản kiểm soát dòng chảy thiết bị sản xuất chip sang đối thủ địa chính trị.
Tháng 4 vừa qua, Washington đã đề xuất một dự luật yêu cầu các đồng minh của Mỹ phải tuân thủ các biện pháp kiểm soát xuất khẩu nhằm hạn chế khả năng sản xuất chất bán dẫn tiên tiến của Trung Quốc. Trong dự luật, máy quang khắc do ASML sản xuất cũng được nêu tên.
Trọng tâm của dự luật là hạn chế những công nghệ mà Trung Quốc vẫn phụ thuộc vào nhập khẩu, chẳng hạn như công nghệ quang khắc DUV dạng nhúng (immersion DUV) - thiết bị cần thiết để tạo ra các mạch điện trên chip.
Dự luật được đề xuất cũng sẽ ngăn chặn việc bán hoặc cung cấp dịch vụ bảo trì cho các thiết bị này ở những nhà sản xuất chip hàng đầu của Trung Quốc như Huawei, SMIC, Hua Hong, CXMT, YMTC.
Theo các quy định hiện hành được Hà Lan thực thi và phối hợp với Mỹ, ASML đã bị cấm xuất khẩu các thiết bị tiên tiến nhất của mình sang Trung Quốc. Tuy nhiên, công ty vẫn được phép bán các dòng máy DUV đời cũ cho các nhà sản xuất chip Trung Quốc cũng như cho các doanh nghiệp hàng đầu của Hàn Quốc và Đài Loan đang vận hành nhà máy tại Trung Quốc.
Nếu dự luật mới được thực thi, hoạt động kinh doanh này cũng sẽ bị cấm.
Trung Quốc hiện là thị trường lớn nhất của ASML trong năm 2025, chiếm 33% doanh thu của công ty. Tuy nhiên, ASML cho biết vào tháng 1 rằng tỷ lệ này dự kiến sẽ giảm xuống còn khoảng 20% trong năm nay.
Việc không được tiếp cận các thiết bị EUV có lẽ là rào cản lớn nhất mà Huawei Technologies - nhà vô địch chip AI của Trung Quốc - đang phải đối mặt trong cuộc cạnh tranh với NVIDIA.
Dù các doanh nghiệp Trung Quốc đã đạt được một số tiến bộ trong việc sản xuất chip mà không cần đến các máy EUV của ASML, họ vẫn chưa bắt kịp các đối thủ quốc tế, đặc biệt trong lĩnh vực quang khắc mà ASML đang giữ vị thế dẫn đầu toàn cầu.
Tuy nhiên, tháng 12 năm ngoái, một nhóm nhà khoa học Trung Quốc từng là kỹ sư của ASML đã bí mật phát triển một nguyên mẫu máy EUV. Nỗ lực này được Reuters mô tả như "Dự án Manhattan của Trung Quốc" trong lĩnh vực công nghệ quang khắc siêu cực tím.
Theo Bloomberg Intelligence, Trung Quốc ngày càng chứng tỏ khả năng sản xuất các dòng chip tiên tiến hơn bằng cách tận dụng các thiết bị thế hệ cũ. Vì vậy, "những lo ngại của Mỹ có thể phản ánh sự tiến bộ về năng lực kỹ thuật của Trung Quốc hơn là dấu hiệu cho thấy ASML không tuân thủ các quy định kiểm soát xuất khẩu".
Kim Dung tổng hợp.
---
Tài liệu tham khảo:
US targets Chinese chipmaking with proposed export restrictions on ASML and others, Reuters, https://www.reuters.com/world/china/us-targets-chinese-chipmaking-with-proposed-export-restrictions-asml-others-2026-04-03/
ASML denies selling EUV chipmaking tool to China after report of US concern, Reuters, https://www.reuters.com/world/china/us-tells-asml-it-is-concerned-china-may-have-top-chip-tool-bloomberg-news-2026-06-19/
US Tells ASML It’s Concerned China May Have Top Chip Tool, Bloomberg, https://www.bloomberg.com/news/articles/2026-06-19/us-tells-asml-it-s-concerned-china-may-have-top-chip-tool?embedded-checkout=true
ASML Shares Slip on Report of U.S. Concern That China Has Its Tech, Wall Street Journal, https://www.wsj.com/business/asml-shares-slip-on-report-of-u-s-concern-that-china-has-its-tech-f6400c8f